微型系统（如微流量节造系统）必要对作用于幼物体的力进行节造和丈量。固然基于微机电系统的传统力传感器能够提供更高的丈量分辨率，但其尺寸、几何状态和电气个性在很多利用法式中受到限度。MEMS系统必要适当的包装。若是包装不当，MEMS系统不相容，不能浸入水中。几何状态通常仅限于必要电衔接的中型芯片的矩形；谧缎纬宋姆ú祭锊蓿‵P）不兼容，不能浸入水中。其几何状态通常仅限于必要电衔接的中型芯片的矩形；谧缎纬宋姆ú祭锊蓿‵P）能够添补MS装置的不及，但目前很罕用于丈量微传感器对使用环境的敏感性。

为了开发更常用的微力传感器，钻研人员创建了一种齐全由玻璃造成的微光纤传感器，它是在光纤尖端形成的，并建设了密封的FP过问(FPI)。他们开发了一种复杂的蚀刻技术，用于造作复杂的全纤维微结构。他们利用这种微加工技术创建了一种基于Fabry-Perot过问仪的传感器，一种由两个平行反射面造成的光学腔。

它能够兼容分歧的操作环境，蕴含导电液和化学侵蚀性液体，能够直接用于各类利用，无需额表的包装和圆柱形。具体来说，传感器传感器由光纤结尾形成的二氧化硅隔阂组成。膜的中心部门延长到硅极，硅极的结尾是一个圆探头或一个容易施加测力的传感圆柱体。

传感器由应时玻璃造成，圆柱形，从80后到幼，直径约105μm。其特点是氧化硅玻璃含有特定量的磷。为了使传感膜足够薄，提高其活络度，薄膜在显微镜下被切割、抛光和抛光。当表力用于探头时，磁极会偏转薄膜，从而调节FPI的长度。而后用商用信号探测器在光谱上探测过问仪的长度。背反射光谱能够在探测器的可用波长领域内(1529和1568.2nm之间)获得。将后反射的光功率和波长数据转换为光功率和光频数据后，能够通过离散快嘎凤叶逆转(IDFFT)获得丈量力。

将光纤和薄而柔软的二氧化硅薄膜引入传感器结尾，造作微型过问仪。当表力施加到端部有圆形或圆柱形测力探头的硅胶柱上时，过问仪的长度会产生变动，其精度为亚纳米级。该传感器拥有约0.6μN和约0.6mN的能量分辨率。

传感器结构的造作模式形成了一止传染并利用于生化环境的气密腔。它不仅能够浸泡在各类液体中，还能够丈量正负力，在大无数利用中不必要任何额表的包装。

在对传感器进行评估和校准后，钻研人员使用它来丈量杨氏模量（硬度丈量），这是人类头发和通常蒲公英种子。同时，通过丈量从液体中取出的微圆筒的回缩力来丈量液体的表表张力。

高分辨率传感器和宽泛的丈量领域可用于幼物体的活络操作和加工，丈量少量液体的表表张力，操作或查抄细胞水平上生物样品的力学机能。同时，这种力传感器能够大大降低到10微米左右，能够用来执行各类力丈量工作。微力传感器还能够用来创建更复杂的传感器，如丈量磁场、电场、确定表表张力、液体流量等。

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