耐高温压力传感器宽泛利用于航空宇宙、石化、汽车等领域的高温环境下的压力丈量。例如，丈量航空航天发起机点火室在启动、终场和不不变点火期间的各类瞬变压力，把握点火室压力的变动法规，为发起机的设计和评价提供凭据，丈量石化领域的各类反映釜、冶炼塔、采油井下压力，为安全出产和提高石油产量提供判断凭据这些领域对耐高温压力传感器的年需要约为4万台。随着国民经济和国防现代化的发展，高温压力传感器的市场需要将以每年10%~32%的速度增长。

但传统硅压力传感器只能在120℃以下丈量压力。超过120℃时，传感器的机能严沉恶化或无效。当传感器遇到被测流体大于100℃时，系统和电路就会出现故障。

西安交通大学精密工程钻研院利用微机电子系统技术研发的硅隔离耐高温微压传感器，可在-30℃~250℃下丈量压力，实现1000兆帕以下肆意丈量领域的压力丈量，接受2000℃的瞬时高温冲击。该项目是国内首个项目，有效解决了中国航天、石化、汽车工业等领域高温环境下的压力丈量技术问题，解决了瞬时高温冲击下传感器故障问题，突破了国表同类产品对中国传感器市场的垄断，提高了中国整体水平和国际竞争力，拥有很高的推广和使用价值。

在项目科技成就鉴定会上，专家现场现场调查了耐高温压力传感器产品和出产现场。通过会商和质疑，专家以为该产品选取高能氧离子注射技术造作二氧化硅隔离层，将检测回路与基础隔离，预防高温下检测回路与基础之间的漏电流，解决了传统硅压力传感器120℃故障的技术问题，该产品被测定高温流体与硅敏感部件隔离，预防被测定流体的瞬时高温冲击，解决了2000℃瞬时高温冲击的问题专家以为，该项主张机能指标和总体水平达到国际先进水平，敏感元件的集成设计和传感器结构设计达到国际当先水平。

据悉，该研发的耐高温压力传感器能够满足高温、高压、高频响应、瞬时高温冲击等恶劣环境下的压力丈量，拥有自主知识产权，添补了国内涵该领域的诸多空缺，推进了我国航空航天、石油化工、汽车工业等领域的工业自动化过程，进一步后续研发。

凭据耐高温压力传感器投入试验的数据，该产品成本低，机能不变靠得住，技术兼容性好，体积幼，活络度高，不仅在静态精度、耐高温工作能力和动态响应能力等技术指标上与国表同类先进产品相当，并且在耐瞬时高温冲击、工作领域等机能指标上拥有独个性，持久困扰企业的高温下。

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