扩散半导体压力传感器，又称硅压力传感器
。这里有三个主流的扩散半导体压力传感器
。

这种类型的传感器在80℃以下丈量空气等非侵蚀性气体，必要用硅凝胶等软树脂包装，即将硅片粘接到金属底座上，而后引出衔接线
。为了提高靠得住性，用硅凝胶填充成型，其利益是成本很低
。其道理是待测气体通过与管壳上的管路衔接的橡胶管导入，压力通过硅凝胶导入，作用于圆形隔板的上部，下部受到大气压力
。在压力下，两个压差使隔板凹陷
。

该硅压力传感器装置在发起机系统中，为了耐汽油蒸汽的110℃高温，不变工作，这里不能使用树脂，必要在金属底座上用玻璃衔接硅片和硅座
。

金属底座和硅片的热膨胀系数分歧，所以用5毫米厚的硅片缓冲
。管路装置在无组件的硅片内侧，当管壳为真空时检测绝对压力
。

流量计选取硅压力传感器，内部填充液体，重要用于油压和成套设备作为流量计
。其结构是将硅片装置在底座上后，用薄型SUS隔板密封管壳上部，内部密封硅油
。由于丈量体只接触SUS隔板，能够接受一些侵蚀性气体和液体，其特点是成本高
。

另表，硅压力传感器的检测方式有三种：压差显示的压力型、绝对压力型和硅片两侧管路的二差压型
。

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