在微压传感器的丈量过程中，压力直接作用在传感器的膜片上，使膜片产生与介质压力成正比的微位移，扭转传感器的电阻。同时，通过电子电路检测这种变动，并转换和输出对应于该压力的尺度信号。这个过程就是微压传感器的丈量过程。

对于微压传感器来说，活络度和线性度是两个最沉要的机能指标。为了造作出满足现实利用必要的传感器，有必要索求一种有效的微压传感器活络度和线性度的仿真步骤。在现实钻研中，找到了一种基于有限元分析和蹊径集成的仿真步骤。通过这种步骤，能够在满量程领域内的分歧压力值下正确估计传感器的电压输出值。在此基础上，对压力传感器的活络度和线性度进行了有效的仿真。

微型压力传感器发展迅速。新研造的传感器选取内置前置放大器的压电单片结构，放大幽微信号，实现阻抗变换，使传感器拥有量程幼、活络度高、抗滋扰性好的特点。这种传感器已宽泛用于检测脉搏、管壁压力颠簸等幼信号。但同时，对于微压传感器的精密检测技术问题，火急必要一种单一的丈量装置来丈量这类传感器的机能。

为相识决微压传感器活络度和非线性之间的矛盾，综合了梁膜结构和平膜双岛结构的利益，选取了双岛梁结构。海岛面积不按比例增减。首先，为了增长活络度，窄束区的长度和宽杜爪该尽可能地减幼。由于从“梁-膜-岛”结构的有限元分析和近似分析中发现，减幼窄梁区的长度和宽度能够显著增长梁上的应力。并且傍边间窄波束的长度约为两侧窄波束长度的两倍时，器件的线性度最好。固然存在双岛限度结构，但是在高过载的情况下，硅膜会首先从岛的边缘和角落区域断裂。这是由于传统的各向异性湿法刻蚀用掩模从硅片背面形成硅膜和背岛。硅膜是晶面，边框和背面大岛都是晶面，夹角为54.74°的锐角。凭据力学道理，拐角区域存在应力集中效应，使硅膜正面或背面受压后产生极大的应力，所以裂纹首先呈此刻那里。引入应力散布结构后，拐角区域造成拥有肯定曲率的圆角区域，该区域的极限应力减幼。通常各向异性湿法刻蚀不成能在硅膜与框架或背岛的接壤处形成拥有肯定曲率半的缓变结构。

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