用微机械加工技术造作的典型产品是硅微型压力传感器
，对此美国日本和欧洲均已形成产业。硅微型压力传感器近几年来发展很快
，该传感器重要利用于汽车工业和医疗保健领域。

硅微型压力传感器的特点是体积幼
，沉量轻
，没有活动部件
，靠得住性高
，又能大规模出产该传感器
，所以造价低。高靠得住性
，低成本对于汽车工业的要求能够说是 极度适合的
，因而在汽车工业中迅速扩大了它的利用领域。如自动刹车系统的压车面压力
，轮胎压力
，气囊压力
，传动系吐澉体压力
，注入系吐澉体压力
，注入燃料 压力
，发起机机油压力。进气管路压力都有硅微型压力传感器额用武之地。

甚至有一些造作商选取微机械加工技术将压力传感器直接埋入轮胎傍边。它能在汽车轮胎压力很低或轮胎在跑气时向司机报警。当前汽车行业非；钤
，每年的出产量高达几千万辆
，因而这也是一个极有前途的市场。

硅微型压力传感器在医疗保健领域里的最大利用产品是血压监督器。据称一些大的医疗机械造作上每年要使用近500万只压力传感器。此表
，如妇女难产时监控 子宫压力用的硅微型压力传感器
，静脉注射监控药液流动的传感器等都是有相当数量的市场需要。其他很多医疗保健方面的利用也在不休开发中。

硅微型压力传感器根基上分成两类：电容式和压阻式。电容式的压力传感器蕴含一个薄膜
，它作为可变空气电容器的一个极板
，当薄膜上接受压力时
，薄膜产生位 移
，从而扭转电容值
，利用这种变动经过相应的电路处置
，就可得到压力值。压阻式传感器使用硅资料接受压力时会产生电阻变动的道理造成
，通常将4个硅资料的 应变电阻组成惠斯通电桥来丈量压力。

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